集成电路的演进不只是线宽的不断减少,它实际上是性能、可靠性、经济性的综合提升。减少集成电路生产制程中的缺陷数量将会提高产品的良率,进而提高集成电路的可靠性。因此,对于集成电路行业而言,良率提升是永恒的话题。
科百特为集成电路产业链提供完整的过滤、纯化、分离、流体和包装解决方案,从拉晶到制成大硅片、从硅片到芯片制造、芯片封装,各个工艺点都有科百特的身影。
在关键的集成电路芯片制造工艺中,科百特可以提供广泛的解决方案覆盖从厂务系统的超纯水系统、化学输送系统、抛光液输送系统、气体系统到制程端的各个工艺点,薄膜沉积、光刻工艺、化学机械研磨、湿法刻蚀和清洗、电镀、离子注入等工艺。